性能特点 

1、高精度．安定性．机能性卓越适合于 FPD 基板·晶圆硬盘 等的微细形状、段差、粗度测定的机型； 

2、是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择； 

3、ET4000A/ ET4000AK 一可实现 2D/3D 表面形状测量； 

4、 ET4000M 一高性能的泛用微细形状测定机； 

5、ET4000L 一对应大型工件的全自动微细形状测定机； 

6、ET4300 一适合 12"样品测量。 

技术参数 

1、最大试片尺寸：210x 210mm~ 300x 400mm 

2、重现性：1σ 0.5nm 以内 

3、测定范围：Z:100um X:100 ~ 305mm (Y 移动量:150~ 400mm) 

4、分解能：Z:0.1nm X:0.1um 

5、测定力：0.5UN~ 500UN (0.05mg-50mg)